平成30年度 産官学共創ものづくり推進事業 「硬脆材料のドライエッチングと微細加工技術セミナー」のご案内

新潟県工業技術総合研究所からお知らせです。

 

新潟県工業技術総合研究所では今年度、産学官共創ものづくり推進事業「硬脆材料のドライエッチングに関する調査研究」を行っています。

そこでは半導体製造技術に使われていたドライエッチングを、硬脆材料の加工に用いるための課題について調査しています。本セミナーでは、当該事業の概要周知を目的にドライエッチング加工の紹介に加えて、電子ビーム、イオンエッチングといった新しい微細加工技術の紹介やその応用事例について紹介いたします。

 

【日 時】平成30年11月21日(水)13:30~16:00(受付13:00)

【場 所】新潟県工業技術総合研究所 中越技術支援センター2階 研修会議室
     (長岡市新産4-1-14)

【プログラム】
 13:30 開会挨拶、硬脆材料のドライエッチングに関する調査研究の紹介
 13:40~15:50 講演
     「プラズマドライプロセスの加工とその応用技術」
        立山マシン株式会社 事業推進室 人母岳 氏
     「最近の微細加工技術動向」
        株式会社 エリオニクス 営業部 清野悠太 氏
 15:50~16:00 質疑応答・アンケート記入
 16:00 閉会挨拶

【定 員】30名

【参加費】無料

【申し込み】平成30年11月16日(金)までに、電話・FAX又はメールで新潟県工業技術総合研究所レーザーナノテク研究室へ。

案内チラシ兼申込用紙

《お問合せ》
 新潟県工業技術総合研究所 レーザーナノテク研究室 丸山
 〒940-2136 長岡市深沢町2085-17
 TEL:0258-47-5171 FAX:0258-47-5172
 e-mail:hmaru@iri.pref.niigata.jp

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